广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵异响处理
产品生命周期设计方法传统的产品设计和开发过程,常被当作是研制产品的一个步骤,因为产品的设计者不可能对上市时间、质量与可靠性、生产成本、售后及易维护性等全盘掌握,使用传统过程设计的产品在投入生产时不可避免地需要进行反复修改。
产品生命周期设计方法通过提议、调查、实验室原型、生产原型、试运行和量产六个步骤来推动和设计过程,而在这些设计过程推进时,采用各种各样的测试和多个部门参与的交互式讨论和分析来决定产品设计方案和方向,而这其中的关键就是各种测试。
1000余台样泵为了验证各种不同的设计,安捷伦执行了远超行业标准的大量测试,在量产之前陆续生产了多达1000 余台样泵,对各项结构和功能参数进行测试和分析,终产品定型时,仅选用了结果的结构和方案。潽拓光电也在其中学结了产品使用会产生的问题以及特性注意事项服务特性都方便对产品维修和方案起很大作用。
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高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子,转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步,市场不仅对泵性能的要求越来越高,更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽,而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上,这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘,节省空间的同时又能提率和性能。
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注意监测前级真空分子泵是一种高真空泵,它必须配合合适的并且性能良好的前级泵才可以正常工作;除了在选型时尽量选择推荐的前级泵之外,分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力,避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高,造成负荷过大,泵温过高等。这些情况一定要加轴承吹扫分子泵所抽的气体如果含有较多的可凝性气体(如水汽,等),高浓度的氧气、腐蚀性气体,或者粉尘等,需要增配吹扫阀(Purge Valve),工作过程中利用吹扫气(一般为干燥氮气)持续对轴承进行吹扫,以达到隔离污染物,保护轴承的目的。
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当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的大允许温度为 120 度)。
另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
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涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵,典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在极限状态下,可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、TOF…)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、高真空实验装置等诸多应用。
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采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑,并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空,而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵,从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。
采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑,并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空,而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵,从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。
以上信息由专业从事安捷伦真空分子泵异响处理的潽拓光电于2024/4/23 10:57:56发布
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