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      在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

     随着复合分子泵的不断改进，其应用领域越来越广，在某些抽气系统上可以替代扩散泵，缩短了系统的抽气时间，并可获得

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         爱德华EdwardsSTP 磁悬浮涡轮分子泵,对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用，Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵是优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态，消除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏的风险，同时将噪声和振动降至Z低。

        Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵系列因其质量和可靠性在市场上享有很高的声誉，并且是许多具有挑战性的半导体应用的优选分子泵。对于实验室应用，STP 磁悬浮涡轮分子泵极为可靠，并且超长时间运行而无需维护。

以上信息由专业从事爱德华高真空泵RV12联系咨询的潽拓光电于2024/4/25 9:16:31发布

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