MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面,已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件,在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器,为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域,MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中,可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等;可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况,协助佩戴者提起重物、快速走动等;集成了柔性触力传感器的人造皮肤,可以用于义肢上,感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一,派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
广义地说,所谓纳米材料,是指微观结构至少在一维方向上受纳米尺度(1nm—100nm)调制的各种固体超细材料,它包括零维的原子团蔟(几十个原子的聚集体)和纳米微粒;一维调制的纳米多层膜;二维调制的纳米微粒膜(涂层);以及三维调制的纳米相材料。简单地说,是指用晶粒尺寸为纳米级的微小颗粒制成的各种材料,其纳米颗粒的大小不应超过100纳米,而通常情况下不应超过10纳米。目前,国际上将处于1nm—100nm纳米尺度范围内的超微颗粒及其致密的聚集体,以及由纳米微晶所构成的材料,统称为纳米材料,包括金属、非金属、有机、无机和生物等多种粉末材料。金属材料大多数的腐蚀发生在大气环境中,大气中含有氧气、湿度、温度变化和污染物等腐蚀成分和腐蚀因素。盐雾腐蚀就是一种常见和有破坏性的大气腐蚀。
盐雾对金属材料的腐蚀,主要是导电的盐溶液渗入金属内部发生电化学反应,形成“低电位金属—电解质溶液一高电位杂质”微电池系统,发生电子转移,作为阳极的金属出现溶解,形成新的化合物即腐蚀物。盐雾腐蚀破坏过程中起主要作用的是氯离子,它具有很强的穿透本领,容易穿透金属氧化层进入金属内部,破坏金属的钝态;同时,氯离子具有很小的水合能,容易被吸附在金属表面,取代保护金属的氧化层中的氧,使金属受到破坏。
浓度在5%以下时,钢、镍、黄铜的腐蚀速度随浓度的增加而增加;当浓度大于5%时,这些金属的腐蚀速度却随着浓度的增加而下降。这是因为,在低浓度范围内,氧含量随盐浓度的增加而增加;当盐浓度增加到5%时,氧含量达到相对的饱和,如果盐浓度继续增加,氧含量则相应下降。氧含量下降,氧的去极化能力也下降即腐蚀作用减弱。对于锌、镉、铜等金属,腐蚀速度却始终随着盐溶液浓度的增加而增加。以上信息由专业从事派瑞林镀膜设备的菱威纳米于2024/4/24 11:52:27发布
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